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3차원표면측정기
3차원표면측정기
  • 모 델 명Dektak 150
  • 보유기관MSP기술지원센터
  • 장비상태정상
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3차원표면측정기 상세정보
주요스펙
-웨이퍼 표면 금속 에지 균질도
-박막 강도 계산
-전도성 필름/포토레지스터 두께, 박 ,후막 측정
-마이크로렌즈 높이 ,곡률 그리고 V그루브 깊이 해석
-거칠기 연구
-높은 AR비율의 트렌치 깊이 측정
-100 angstrom보다 더 낮은 필름 두께 측정
사용용도
-용도설명 : 표면 측정으로부터 3-D mapping을 포함하여 다각적인 분석자료를 제공
-응용분야 :
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장비담당
   02-944-6026   
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